Đạo diễn Oren Peli thật ra là một kẻ sợ ma trong suốt cuộc đời của mình, thậm chí sợ cả bộ phim hài Ghostbusters, nhưng anh chuyển đổi nỗi sợ đó thành một thứ gì đó tích cực và sinh lời hơn nhiều. Peli bỏ ra một năm để tân trang lại chính căn nhà mình để quay phim, bao gồm việc sơn lại các bức tường, thêm các vật dụng khác, đặt thêm tấm thảm và xây nơi để cầu thang. Trong khoảng thời gian đó, ông cũng nghiên cứu về các hiện tượng siên nhiên và ma quỷ, khẳng định rằng, "Chúng tôi muốn bộ phim trở nên thật nhất có thể." Các hiện tượng của bộ phim thường diễn ra về đêm khi mọi người đang ngủ và dễ dàng bị tấn công.

Trong lúc tuyển diễn viên, họ xem qua "vài trăm người" trước khi gặp Katie Featherston và Micah Sloat. Anh ban đầu tuyển họ tách biệt nhau rồi sau đó gọi họ lại và thử vai cùng nhau. Peli bị ấn tượng bởi sự ăn ý giữa hai diễn viên, anh chia sẻ, "Nếu bạn xem bộ phim, có lẽ bạn nghĩ họ biết nhau nhiều năm trước đó rồi." Trong khi xuất hiện tại The Jay Leno Show ngày 3 tháng 11 năm 2009, Featherston có nhắc đến việc họ được trả lương là 500 đô-la cho vai diễn này.

Paramount và DreamWorks thuê biên kịch truyền hình Michael R. Perry để sáng lập nên Paranormal Activity 2. Oren cũng tham gia sản xuất cho phần phim này. Kevin Greutert, đạo diễn của Saw VI, ban đầu được trả tiền để chỉ đạo phần phim này; nhưng dù vậy, Lions Gate Entertainment thi hành một điều luật trong bản hợp đồng để anh tham gia chỉ đạo cho bộ phim cuối cùng trong loạt phim Saw. Cả hai diễn viên chính của phần đầu, Katie Featherston và Micah Sloat, đều được quay lại trong phần này. Kip Williams tham gia đạo diễn cho phần phim này và khâu sản xuất bắt đầu từ tháng 5 năm 2010 và được phát hành vào tháng 10 trong cùng năm đó.

Phần 3 và 4 của loạt phim được Henry Joost và Ariel Schulman tham gia làm đạo diễn. Khâu sản xuất cho bộ phim thứ ba được bắt đầu từ tháng 6 năm 2011 và được phát hành ngày 21 tháng 10 cùng năm. Phần bốn được quay vào tháng 6 năm 2012 và dược phát hành ngày 19 tháng 10.

Một bộ phim phụ mang tên Paranormal Activity: The Marked Ones được phát hành ngày 3 tháng 1 năm 2014 với phần sản xuất trở lại của Oren với phần biên kịch của Christopher B. Landon.

Bộ phim thứ năm của loạt phim, Paranormal Activity 5, ban đầu được dự kiến phát hành ngày 25 tháng 10 năm 2013,[1] nhưng sau đó được dời lại vào ngày 24 tháng 10 năm 2014.[2] Với phần phim lần này, Gregory sẽ tham gia làm đạo diễn, cùng với sự sản xuất của Oren Peli và Jason Blum, Katie Featherston vẫn tiếp tục quay lại trong phần phim này. Cuối tháng 9 năm 2013, Paramount có thuê hai biên kịch từ bộ phim Almanac là Jason Pagan và Andrew Stark để viết kịch bản cho phần tới.[3] Bộ phim được quay từ tháng 2 năm 2014 tại Los Angeles.